低温ALD工法 粉体, 反凝固膜, 樹脂製品, 医療分野, 超薄膜, 低温真空成膜, ALD, ナノオーダー, 保護膜 還元／酸化ガスをプラズマで励起することにより、ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能
