タグ: 物理気相成長法

蒸着材料を直接加熱し原子・分子状に蒸発させ、基材表面上に被膜堆積させる物理的気相成長であり、成膜速度が早く高純度の成膜が可能

ターゲットに高速でイオンを衝突させ、分子・原子状にした物質を基材表面上に付着させる物理的気相成長であり、高融点金属や合金等も成膜でき、膜質や膜厚の制御が容易で高精度に成膜が可能