真空蒸着 光学膜, 酸化物薄膜, 電子ビーム, 物理気相成長法, PVD, 反射防止膜, 真空蒸着 蒸着材料を直接加熱し原子・分子状に蒸発させ、基材表面上に被膜堆積させる物理的気相成長であり、成膜速度が早く高純度の成膜が可能