低温DLC工法 グラファイト膜, 品質劣化防止, 医療分野, 超精密金型, 低温真空成膜, DLC, 導電性, 高硬度 高周波プラズマで水素イオンを生成し、それを高電圧直流パルスで基材に引き付け、原料ガス（CxHy）と基材表面で反応させることにより、低温で密着性の良い高品質DLC成膜が可能
