低温ALD工法 粉体, 反凝固膜, 樹脂製品, 医療分野, 超薄膜, 低温真空成膜, ALD, ナノオーダー, 保護膜 還元/酸化ガスをプラズマで励起することにより、ALDでは難しいと言われている低温での高品質な成膜が可能
低温DLC工法 グラファイト膜, 品質劣化防止, 医療分野, 超精密金型, 低温真空成膜, DLC, 導電性, 高硬度 高周波プラズマで水素イオンを生成し、それを高電圧直流パルスで基材に引き付け、原料ガス(CxHy)と基材表面で反応させることにより、低温で密着性の良い高品質DLC成膜が可能
真空蒸着 光学膜, 酸化物薄膜, 電子ビーム, 物理気相成長法, PVD, 反射防止膜, 真空蒸着 蒸着材料を直接加熱し原子・分子状に蒸発させ、基材表面上に被膜堆積させる物理的気相成長であり、成膜速度が早く高純度の成膜が可能
スパッタリング 耐摩耗, 金属膜, 硬質膜, イオンビーム, 真空成膜, 物理気相成長法, PVD ターゲットに高速でイオンを衝突させ、分子・原子状にした物質を基材表面上に付着させる物理的気相成長であり、高融点金属や合金等も成膜でき、膜質や膜厚の制御が容易で高精度に成膜が可能
ディップ工法 DIPPING, ディップ(浸漬)式, セラミックコンデンサ, ウェットコーティング, 電極ペースト ワーク(塗布対象物)を塗布液中にDIP(浸漬)させ塗膜を形成するウェットコーティング法であり、ワークの引上げ速度・塗布液の特性・付着液の重力との関係性・濡れ性から膜厚を制御が可能
スクリーン印刷工法 ウェットコーティング, 転写, 機能性フィルム, パターン印刷, 電極ペースト, 高精密塗布 ベースフィルム上の印刷パターンマスクに有機溶剤や液体に溶解された樹脂ペーストを塗布し、スキージで掻き取ることでフィルムに転写する印刷方法
ダイコーター 塗工, ロール式, スロットダイ, 多層膜, ウェットコーティング フィルムやシートなど比較的幅が広く長さのある薄い平面に対して高速で均一に連続塗工する塗装法であり、塗工安定性に優れ、複数の膜を同時塗工する多層膜コーティング等の高精度塗工も可能